100여 가지 특수가스와 혼합가스를 제공하는 린데는 전자산업 특수가스 고객들이 일차로 선택하는 브랜드입니다. 방대한 공정 지식으로 린데의 전자산업 가스는 고객들의 엄격한 순도 및 일관성 요구를 상회합니다.
10개에 달하는 전자산업 특수가스 생산공장들이 전략적으로 핵심 제조시장에서 위치하고 있어 고객들에게 적시 납품, 융통성, 공급확보라는 이득을 드립니다.
실란, 불화질소, 암모니아, 도펀트 혼합물 등 전자산업 특수가스를 고객의 필요에 맞는 다양한 크기의 용기로 제공합니다. 용기는 실린더, 톤 탱크, 튜브 트레일러, ISO 용기 등 다양합니다.
지역에 따라 요건이 다르지만 린데가 공급하는 주요 전자산업 특수가스는 다음과 같습니다.
증착 | 에칭 | |
암모니아 (NH3) | 3염화붕소 (BCl3) | 할로카르본 116 (C2F6) |
디클로로실란 (SiH2Cl2) | 일산화탄소(CO) | 할로카르본 218 (C3F8) |
디실란 (Si2H6) | 이산화탄소 (CO2) | 할로카르본 2316 (C4F6) |
헥사클로로디실란 (Si2Cl6) | 염소 (Cl2) | 할로카르본 318 (C4F8) |
모노메틸실란 (MMS) | 3불화염소 (ClF3) | 브로화수소 (HBr) |
산화질소 (NO) |
*불소 (F2) | 염화수소 (HCl) |
산소 (O2) | 할로카르본 14 (CF4) | 불화수소 (HF) |
실란 (SiH4) 트리실란 (Si3H8) |
할로카르본 1418 (C5F8) | 3불화질소 (NF3) |
트리클로로실란 (SiHCl3) | 할로카르본 23 (CHF3) | 4불화규소 (SiF4) |
트리메틸실란 (3MS) | 할로카르본 32 (CH2F2) | 6불화황 (SF6) |
텅스텐 헥사플루오라이드 (WF6) | 할로카르본 41 (CH3F) | |
도핑 | 기타 | |
아르신 (AsH3) | 알곤 (Ar) | |
붕소-11 트리플루오라이드 (11BF3) | 헬륨 (He) | |
디보란 (B2H6) | *수소 (H2) | |
디보란 (B2H6) | *질소 (N2) | |
게르만 (GeH4) | 황화수소 (H2S) | |
포스핀 (PH3) | 셀렌화수소 (H2Se) | |
트리메틸-보론 (TMB) | 디에틸징크 (DEZ) | |
* 온사이트 가스 제조기로 공급 가능 | ||
제공가능 여부와 사양은 지역에 따라 다를 수 있습니다. 린데코리아로 문의하세요.