신소재 및 침식성 가스 기술
ITRS(International Technology Roadmap for Semiconductors)에 발 맞추어 미국의 산마르코스에 있는 린데 시설에서 이루어지는 과거 및 현재 개발은 초고순도 육불화텅스텐(WF6) 및 하이-k ALD 공정을 위한 새로운 전구체를 포함합니다.
희귀가스 및 할로겐 가스
심자외선(DUV) 리소그래피 개발을 가능하게 한 린데의 알파(미국) 공장은 248nm 및 193nm 엑시머 레이저용 고순도 할로겐 혼합 가스의 선도자입니다. 또한 크세논 재활용 및 동위 원소 농축 가스 및 화학 제품에도 전문성을 보유하고 있습니다.
깨끗한 체임버 세척을 위한 불소 기술
린데의 인주(한국) 시설은 저비용 모듈 불소 발생기의 최신 기술을 선도하고 있습니다. 탄소를 배출하지 않은 이 기술은 반도체 산업이 점차 증가되는 엄격한 환경 규제를 직면함에 따라 중요성이 커지고 있습니다.
또한 린데는 주요 고객, OEM, 학계 및 산업 컨소시엄을 통해 합작 개발 프로그램에 참여하고 있습니다.
다양한 제품 구성
린데는 모든 반도체 제조 공정을 지원하는 다음과 같은 다양한 가스를 제공합니다.
초고순도 벌크 가스
온사이트 가스 발생기
실린더 및 벌크 공급을 통한 전자 산업 특수 가스
| 전자 산업용 벌크 가스 | 전자 산업용 벌크 가스 |
| 질소 | 실리콘 원료 가스 |
| 수소 | 질화물/산화물 증가 |
| 알곤 | 도핑 및 주입 |
| 산소 | 금속 및 유전체 에칭 |
린데그룹의 AUECC는 전 세계 마이크로일렉트로닉스 산업용 초고순도 습식 화학 제품의 제조 및 유통 전문 기업입니다. 추가 정보
시스템 및 서비스 전문성
또한 린데는 고객이 핵심 산업에 집중하면서 지속적으로 운영할 수 있도록 다양한 전문 서비스를 제공합니다. 이러한 서비스에는 일괄 공급 설계 및 설치 서비스에서부터 가스 시스템의 종단간 관리에 이르기까지 확장되며, 다음을 포함합니다.
벌크 가스 보관 및 배포 시스템
벌크 특수 가스 시스템(BSGS)
가스 보관함 및 가스 배포 매니폴드
가스 및 화학 제품 총 관리
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