20년 이상, 엑시머 레이저 산업은 린데의 SPECTRA™ 리소그래피 가스를 이용해왔습니다. SPECTRA 가스는 리소그래피용 초창기 레이저의 개발에 사용되었고 현재는 반도체 산업에서 DUV 포토리소그래피에 가장 널리 사용되는 엑시머 가스입니다.
전 세계의 수많은 와퍼 스테퍼와 스캐너의 레이저들이 린데의 첨단 SPECTRA 가스와 혼합가스를 사용합니다.
세계 유수의 주요 레이저, 스테퍼, 스캐너 제조자들뿐 아니라 세계 최대의 반도체 제조자들이 린데의 SPECTRA 가스를 사용하고 있습니다. 그들은 최고 품질의 레이저 가스와 중요 가스기술의 심층 지식을 린데에 의지할 수 있다는 것을 알고 있습니다.
또한 린데의 고객들은 미국 알파에 위치한 SPECTRA 리소그래피 가스 등 린데의 Centre of Excellence가 이끄는 신기술 개발과 혁신의 혜택을 누립니다. 주요 전문분야:
모든 영역 - 포토리소그래피에 필요한 모든 원료의 제조와 정제 시장을 주도하고 있습니다.
실린더 기술 - 불활성 가스뿐 아니라 할로겐(F2) 가스 실린더 용기의 취급과 처리에 대한 독점적 기술을 보유합니다
가스 혼합기술 - 완전히 균일한 다중성분 혼합가스를 만드는 매우 특수한 혼합기술의 선구자입니다.
분석 기술 - 산업표준을 능가하는 독보적인 분석기술을 보유합니다. 모든 SPECTRA 리소그래피 실린더를 일일이 검사하고 각각의 '분석증명서'를 발급합니다.
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